相关考题
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单项选择题
进行沟槽填充常用的金属材料是（）。
A.铜
B.铝
C.钨
D.金 -
单项选择题
化学机械抛光液的主要成分不包括的是哪个？（）
A.还原剂
B.分散剂
C.腐蚀介质
D.磨料 -
多项选择题
CMP的设备构成包括（）。
A.台板
B.抛光液
C.抛光垫
D.夹持设备
