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全部科目 > 大学试题 > 理学 > 材料科学 > 直拉单晶硅工艺学

问答题

简答题

如何理解用正常凝固解释和计算直拉硅单晶中杂质分凝和杂质分布是成功的?

    【参考答案】

    直拉法生长单晶硅可以近似地认为正常凝固。生长单晶硅时所掺的щ族和V族元素在硅熔点时扩散速度为10-11

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