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问答题

简答题

所谓“跳硅”,指熔硅在坩埚中沸腾现象。跳硅厉害时熔硅跳出坩埚外,飞溅在加热器、保温罩、石墨托碗和单晶炉壁上,使石墨器件损坏,严重硅跳会烧坏单晶炉底。分析产生跳硅的原因,并给出适当的解决办法?

    【参考答案】

    有三种情况可以产生硅跳:
    1多晶硅中有氧化夹层或封闭的气泡;
    2坩埚底部有封闭气泡;
    3、熔硅时......

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