问答题
简答题
常用的CVD哪几种？说明各自的优缺点以及应用领域。
【参考答案】
（1）常压化学气相淀积，这种工艺所需的系统简单，反应速度快，并特别适于介质淀积，但是它的缺点是均匀性较差，气体消耗量大，......
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