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单项选择题
爲防止靶元件被溅射，靶元件必须（）。
A.与靶导通
B.接上电压表
C.接地屏蔽
D.接上电流表 -
单项选择题
靶中毒现象最容易发生在（）中。
A.中频反应溅射镀膜
B.直流反应溅射镀膜
C.射频反应溅射镀膜
D.以上答案都不对 -
单项选择题
蒸发高熔点金属（如钽、钨）可采用（）蒸发源。
A.电阻式
B.电子束
C.分子束
D.以上答案都不对
