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单项选择题
真空设备维修后应该确认其（）。
A.压力变化速度
B.极限压力
C.抽气速率
D.以上皆是 -
单项选择题
对人体有一定程度伤害的电源是（）。
A.直流电源
B.射频电源
C.中频电源
D.偏压电源 -
单项选择题
在给定时间间隔内，沉积在基片上的材料量除以该时间间隔和基片面积来表征（）值。
A.溅射速率
B.抽气速率
C.沉积速率
D.放气速率
