问答题
简答题
解释APCVD，使用APCVD SiO2的主要问题是什么，是用硅烷作为反应源吗？
【参考答案】
常压化学气相淀积；传统上这些膜通常作为层间介质（ILD），保护覆盖物或者表面平坦化；不是使用硅烷作为反应源。
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