问答题
简答题
沉积多晶硅栅材料采用什么CVD工具，列举多晶硅作为栅电极的6个原因。
【参考答案】
采用LPCVD工具；
1.通过掺杂可得到特定的电阻；
2.和二氧化硅优良的界面特性；
3.......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
相关考题
