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硅片制造厂可分为六个独立的区域,各个区域的照明都采用同一种光源以达到标准化。
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人员持续不断地进出净化间,是净化间沾污的最大来源。
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集成电路制造就是在硅片上执行一系列复杂的化学或者物理操作。简而言之,这些操作可以分为四大基本类:薄膜制作、刻印、刻蚀和掺杂。
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