相关考题
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单项选择题
更换靶材或维修时﹐须在机台停止溅射后（）实施。
A.5分钟
B.10分钟
C.60分钟 -
多项选择题
（）属于常见的真空计。
A.热阻真空计
B.热偶真空计
C.热阴极电离真空计
D.热胶真空计 -
单项选择题
一般溅镀使用真空度约在（）Torr较佳。
A.101
B.10-3
C.10-6
D.10-7
