问答题
简答题
列出半导体工艺史上的几个主要工艺,并说明当前的主流工艺是什么,以及该工艺的主要优点?
【参考答案】
主要的半导体工艺:
1960s,Bipolar(双极型)IC工艺;
1970s,NMOS E/D(增......
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