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单项选择题
四层警示灯号中红色所代表的动作是（）。
A.手动模式
B.自动模式
C.系统异常故障发生
D.粒子清洗及镀膜中 -
单项选择题
Cryo pump（冷冻泵浦）最不容易捕捉之气体分子爲（）。
A.Ar
B.N2
C.H2O
D.He -
单项选择题
扩散泵是靠被加热的（）的高速运动向出口方向碰撞被抽气体，使其被前级泵抽走的。
A.水蒸气分子
B.离子
C.氩气分子
D.油蒸气分子
