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单项选择题
有关MFC，下列描述（）是错误的。
A.质流控制器
B.单位爲cc
C.制程气体流量控制
D.单位爲sccm -
单项选择题
直流溅射可用于（）工件。
A.金属
B.塑胶
C.陶瓷
D.任何材料 -
单项选择题
调压阀的作用是调节泵的（）和保持制程压力的稳定。
A.内部压力
B.温度
C.抽气速率
D.抗污染能力
