填空题
随着铜布线中大马士革工艺的引入，金属化工艺变成刻蚀（）以形成一个凹槽，然后淀积（）来覆盖其上的图形，再利用（）把铜平坦化至ILD的高度。
【参考答案】
介质；金属；CMP
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填空题
介质；金属；CMP
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