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多项选择题
常压的硅外延方法有（）。
A.四氯化硅氢还原法
B.三氯氢硅氢还原法
C.二氯氢硅烷法
D.硅烷热分解法 -
单项选择题
刻蚀工艺可以和以下哪个工艺结合来实现图形的转移？（）
A.氧化
B.离子注入
C.光刻
D.抛光 -
单项选择题
注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）
A.能量
B.温度
C.剂量
D.质量
