问答题
简答题
如何降低沟道效应？
【参考答案】
减少沟道效应的措施：
（1）对大的离子，沿沟道轴向（110）偏离7－10o；
（2）用Si，Ge，F......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
相关考题
-
问答题
与扩散源相比，离子注入有哪些优点？ -
问答题
扩散源有哪些存在形态？ -
问答题
热扩散机制有哪些？
