单项选择题
以下对集成电路版图设计中几何设计规则描述不正确的是（）。
A.几何设计规则是版图图形编辑的依据
B.几何设计规则是设计系统生成版图的依据
C.几何设计规则是分析计算的依据
D.几何设计规则是检查版图错误的依据
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单项选择题
以下不是影响刻蚀质量的主要因素是（）。
A.粘附性
B.刻蚀温度
C.刻蚀时间
D.刻蚀槽的高度 -
单项选择题
下列有关集成电路发展趋势的描述中，不正确的是（）。
A.特征尺寸越来越小
B.晶圆尺寸越来越小
C.电源电压越来越低
D.时钟频率越来越高 -
单项选择题
体现集成电路工艺技术水平的关键技术指标是：（）。
A.特征尺寸
B.器件数量
C.互连线长度
D.互连线层数
