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问答题

简答题

磁控溅射的特点是什么?

    【参考答案】

    由于正交的磁场有效的地将电子束缚在靶面附近运动,大大提高了电子的电离能力,所以磁控溅射可以在较低的放电电压,在较低的压力......

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