问答题
简答题
试说明LOCOS和STI中淀积的衬垫氧化硅层以及场注的主要作用。
【参考答案】
垫养的作用：LOCOS和STI中都是作为缓冲层，用于减缓硅衬底与随后淀积的氮化硅之间的应力，改善硅与沟槽填充氧化物间的界......
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