名词解释
双气流MPVPE
【参考答案】
采用二组输入反应室的气路进行外延生长，一路为主气路，沿与衬底平行方向输入反应气体。另一路称为副气路，在垂直于衬底方向高速......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
