问答题
简答题
半导体芯片制造工艺对气体有什么要求？
【参考答案】
半导体芯片制造工艺中经常使用氧、氩、氢、氮等气体，由于这些气体的微粒杂质和水汽对半导体芯片的性能、质量、成品率有极大的影......
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