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判断题
CVD淀积二氧化硅的原理跟热氧化相同。 -
多项选择题
下列方法属于热氧化制备二氧化硅的方法是（）
A.化学汽相沉淀法
B.原子层沉淀法
C.水汽氧化
D.氢氧合成氧化 -
多项选择题
关于热氧化速率，说法正确的是（）
A.温度越高，速度越快
B.压力越大，速率越快
C.水汽氧化最慢，干氧氧化最快
D.掺杂浓度越高，速率越快
