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多项选择题
提高光刻分辨率的途径有（）。
A.增大数值孔径NA
B.增大曝光波长
C.减小曝光波长
D.减小数值孔径NA -
多项选择题
光刻工艺流程中后烘的作用是（）。
A.消除驻波效应
B.蒸发PR中所有有机溶剂
C.提高光刻胶和表面的黏附性
D.平滑光刻胶侧壁 -
多项选择题
光刻是集成电路制造最重要的工艺，是因为（）。
A.光刻耗费时间最多
B.光刻耗费时间最少
C.光刻决定了特征尺寸
D.光刻成本最高
