问答题
简答题
简述离子注入工艺相对于热扩散工艺的优缺点。
【参考答案】
优点：①精确地控制掺杂浓度和掺杂深度；
②可以获得任意的杂质浓度分布；
③杂质浓度均匀性、重复性好；......
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