多项选择题
影响淀积速率的因素有（）。
A.降低δsB.增加UmC.减小基座长度LD.增加温度
多项选择题 Grove模型建模时，关注的主要运动形式有（）。
多项选择题 以下关于CVD的描述正确的有（）。
多项选择题 CVD淀积SiO2薄膜过程中主要涉及的运动有哪些？（）
