填空题
在SiO2内和Si-SiO2界面存在有（）、（）、（）、（）等电荷。
可动离子电荷；氧化层固定电荷；界面陷阱电荷；氧化层陷阱
填空题 硅平面工艺中高温氧化生成的非本征无定性二氧化硅对（）、（）、砷（As）、锑（Sb）等元素具有（）作用。
填空题 热氧化制备SiO2的方法可分为四种，包括（）、（）、（）、（）。
填空题 常规的硅材料抛光方式有：（）抛光，（）抛光，（）抛光等。
