填空题
硅平面工艺中高温氧化生成的非本征无定性二氧化硅对（）、（）、砷（As）、锑（Sb）等元素具有（）作用。
硼；磷；掩蔽
填空题 热氧化制备SiO2的方法可分为四种，包括（）、（）、（）、（）。
填空题 常规的硅材料抛光方式有：（）抛光，（）抛光，（）抛光等。
填空题 提拉出合格的单晶硅棒后，还要经过（）、（）、（）等工序过程方可制备出符合集成电路制造要求的硅衬底片。
