单项选择题
半导体中IGBT是什么意思？（）
A.绝缘栅双极晶体管B.金属氧化物半导体场效应晶体管C.结型场效应管晶体管D.双极晶体管
单项选择题 硅片干蚀刻前必须要做什么？（）
单项选择题 关于Beamline的功能，不正确的是（）。
单项选择题 隔膜真空计精度比较高，误差大约是（）。
