单项选择题 对晶向为，6英寸N型半导体材料来说，（）是作为放置第一步的光刻图形的掩膜版的依据。

单项选择题 晶向为.8英寸P型半导体材料的定位方式是沿着硅锭长度研磨出（）

单项选择题 从安全上看，四氯化硅氢还原法.三氯氢硅氢还原法.硅烷热分解法的安全性从小到大排列的顺序为：（）