单项选择题
真空容器Q，其内部压力为P，通过流导为C的配管与排气速度为Sp的真空泵直连，则实际排气速度Se是（）。
A.Se=Sp+CB.Se=1/Sp+1/CC.1/Se=1/Sp+1/CD.1/Se=Sp+C
单项选择题 Plasma-CVD的原料分子是靠什么来分解的？（）
单项选择题 还原硅气相成长的硅纯度可以达到多少？（）
单项选择题 离子注入机通过什么控制注入SiWafer的深度？（）
