问答题
例出光刻的8个步骤，并对每一步做出简要解释。
第一步：气相成底膜处理，其目的是增强硅片和光刻胶之间的粘附性。第二步：旋转涂胶，将硅片被固定在载片台上，一定......
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问答题 解释什么是暗场掩模板。
问答题 例举双大马士革金属化过程的10个步骤。
问答题 什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？
