多项选择题
光刻工艺三要素为()
A.光刻机B.光刻胶C.掩膜版D.涂胶机
多项选择题 单晶硅生长是将电子级纯的多晶硅华为单晶硅锭,要实现这一条件需满足三个条件:()、()、()。
多项选择题 切片是抛光片制备中一道重要的工序,因为这一工序基本上决定了硅片的四个重要参数,即晶向、()、()、()。
多项选择题 离子注入设备主要由()和聚焦阳极,偏束板,扫描器,靶室组成。