问答题
简述沉积多晶硅采用什么CVD工具？掺杂的Poly－Si的主要用途。写出掺杂的Poly－Si做栅电极的6个原因。
沉积多晶硅采用LPCVD。用途：①掺杂的Poly－Si在MOS器件中用做栅电极；②掺杂的Poly......
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问答题 简述在APCVD SiO2时掺杂PH3，形成磷硅玻璃（PSG）的优缺点。
问答题 简述低压CVD系统（LPCVD）的优缺点。
问答题 简述常压CVD系统（APCVD）的优缺点。
