判断题
温度对氧化速率常数A、B都有影响,压强只影响氧化速率常数B。
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判断题 硅热氧化形成SiO2体积将增加约1倍。
判断题 SiO2作为扩散掩蔽膜需要满足一定的厚度要求。
判断题 SiO2中5价的网络形成者可使结构强度增加,而3价的网络形成者可使结构强度减小。