问答题
掺杂的主要目的是什么?给出硅片制造中的三种主要掺杂应用。
掺杂被广泛应用于硅片制造的全过程,是改变材料性能,改变晶片电学性质、实现器件和电路纵向结构的重要手段。利用掺......
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问答题 根据下图给出的一氧化工艺的菜单实例,试说明: (1)该工艺采用的氧化方法 (2)每一步骤的具体作用(或状态) (3)氮气在整个工艺流程中的作用 (4)工艺过程中加入HCl的主要作用
问答题 氧化系统的基本组成结构及每一部分的主要作用。
问答题 什么是氧化层固定电荷?其产生的主要原因是什么?它对半导体器件的电学特性有何影响?工艺中可以用什么办法来解决?