多项选择题
热氧化前硅片厚100微米，氧化后二氧化硅的厚度为100微米，此时下列正确的是（）
A.被氧化了44微米的硅B.被氧化了56微米的硅C.剩余的硅与生成的二氧化硅总的厚度和为144微米D.剩余的硅与生成的二氧化硅总的厚度和为156微米
多项选择题 以下哪些工艺会消耗硅片自身的硅（）
多项选择题 二氧化硅的作用有（）
多项选择题 热氧化获得的二氧化硅的特点是（）
