多项选择题
以下哪些工艺会消耗硅片自身的硅（）
A.热氧化B.掺氯氧化C.干氧氧化D.化学沉积
多项选择题 二氧化硅的作用有（）
多项选择题 热氧化获得的二氧化硅的特点是（）
多项选择题 低压外延反应器的缺点是（）
