问答题
什么是氧化工艺？请说明氧化工艺为什么需要高温技术？
氧化，即在硅表面形成一氧化层的能力，是硅集成电路制造技术的基础及关键因素之一。室温下也会生长出自然氧化层，但......
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问答题 试说明CMOS工艺在硅片上形成氧化物的主要方法，以及他们间的本质区别。
问答题 CMOS工艺中为什么要形成侧墙？在哪一个工艺环节形成及为什么？并说明其形成步骤及主要作用。
问答题 什么是阱？CMOS工艺中阱的作用是什么？试说明CMOS双阱工艺中的阱是如何形成的？
