问答题
简述离子注入效应。
沟道效应：当注入离子未与硅原子碰撞减速，而是穿透了晶格间隙时就发生了沟道效应。控制沟道效应的方法：①倾斜硅片......
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问答题 简述离子注入工艺相对于热扩散工艺的优缺点。
名词解释 结深
问答题 说明扩散杂质的高斯分布特点（有限源扩散属于此分布）
