问答题
简述沟道效应的含义及其对离子注入可能造成的影响如何避免？
对晶体进行离子注入时，当离子注入的方向与与晶体的某个晶向平行时，一些离子将沿沟道运动，受到的核阻止作用很小，而且沟道中的......
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问答题 简述离子注入工艺中退火的主要作用？
问答题 扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么？与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么？
问答题 简述两步扩散的含义与目的？
