填空题 电阻率条纹上没有微缺陷蚀坑，宏观上看不见小白点，腐蚀面为镜面，这是（）和电阻率条纹最重要的区别。

填空题 半导体晶体缺陷可以分为（）和微观缺陷，以及点阵应变和表面机械损伤。

填空题 快速腐蚀时一般不受光照影响，而慢速腐蚀时（）影响比较大。