问答题
简述离子注入退火目的与方法。
工艺目的：消除晶格损伤，并且使注入的杂质转入替位位置从而实现电激活。①高温热退火通常的退火温度：......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 简述离子注入效应。
问答题 简述离子注入工艺相对于热扩散工艺的优缺点。
名词解释 结深
