判断题 薄膜制备的方式中，CVD不消耗衬底材料。

判断题 溅射常用的等离子体是用氩气离化的。

判断题 溅射相对蒸镀具有不少优势，但某些特殊材质薄膜的制备上电子束蒸镀更有优势。