多项选择题
扩散掺杂的优点有（）
A.设备简单B.效率高C.成本低D.杂质纯度高
多项选择题 抑制通道效应的方法有（）
多项选择题 离子注入过程中，常用的退火方法有（）
多项选择题 属于氧化层表面缺陷的是（）
