问答题 什么是集成电路工艺？

问答题 分别解释IC、VLSI、ULSI、CMP、CVD、LPCVD、RIE、SOI、ERC、DRC、EXT等的含义。

问答题 简述微电子、集成电路、集成度、场区、有源区、阱、外延。