问答题
硅栅工艺有哪些优点？
自对准无需重叠设计减小了电容提高了速度减小了栅、源、漏极尺寸增加集成度；增加电路可靠性
问答题 什么是自对准技术？
问答题 铝栅重叠设计方法虽然可解决铝栅MOS工艺的缺点，但还存在哪些缺点？
问答题 铝栅MOS工艺的缺点是什么？
