判断题 扩散和离子注入都可以掺杂，但两者各有利弊，所以都在使用。

判断题 离子注入掺杂可以单独控制杂质浓度和结深，而扩散掺杂却不行。

判断题 扩散和离子注入都可以实现半导体掺杂，所以可以任意选择。