单项选择题
机械增压泵加装变频器后的最大目的是什么？（）
A.从大气压启动、提高排气速度B.提高极限压力C.显著改善噪音D.降低能耗
单项选择题 下面关于皮拉尼真空计的描述中，哪一个是错误的？（）
单项选择题 RF电源设备设计难度是（）。
单项选择题 高密度Plasma作用下，基板的温度可以到（）以上。
