单项选择题
以下哪项不是STI工艺气体？（）
A.SiH4B.O2C.N2OD.Ar
单项选择题 CMP清洗部分的顺序是（）。
单项选择题 高电流注入机的扫描方式为（）。
单项选择题 下列选项属于BF3的特性的是（）
