单项选择题
CMP清洗部分的顺序是（）。
A.兆声清洗（Meg）-SRD（甩干）-Brush（刷洗）B.兆声清洗（Meg）-Brush（刷洗）-SRD（甩干）C.Brush（刷洗）-兆声清洗（Meg）-SRD（甩干）D.Brush（刷洗）-SRD（甩干）-兆声清洗（Meg）
单项选择题 高电流注入机的扫描方式为（）。
单项选择题 下列选项属于BF3的特性的是（）
单项选择题 离子注入机机架外壳和高压放电棒接地电阻小于（）。
